飛納電鏡為什么可以做到15s抽真空，30s成像？

發(fā)布時(shí)間： 2024-12-13　　點(diǎn)擊次數(shù)： 354次

如之前【飛納電鏡：從飛利浦到賽默飛，是最“老"的電鏡，也是最“新"的電鏡（上篇）】的介紹，飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 三倉分離和逐級抽真空設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn) 15 秒抽真空 30 秒成像，這是目前業(yè)界高效率的臺式掃描電鏡，可謂是掃描電鏡中的“閃電俠"。

不同類型掃描電鏡操作所用時(shí)長對比圖

通過不同電鏡操作用時(shí)對比圖可知，一方面是抽真空耗時(shí)，傳統(tǒng)電鏡因?yàn)橥▊}的設(shè)計(jì)，載樣抽真空過程需要很長時(shí)間，至少 3 分鐘的樣子。隨著設(shè)備真正服役，真空系統(tǒng)復(fù)雜加之維護(hù)不到位，這個等待時(shí)間只會越來越久。另一方面 SEM 成像耗時(shí)，傳統(tǒng)電鏡操作界面復(fù)雜不說，自動化智能功能嚴(yán)重不足，很依賴于操作人員的熟練程度，一個小時(shí)往往能拍好 3 個樣品都算快的。

就傳統(tǒng)電鏡抽真空耗時(shí)久這一痛點(diǎn)，飛納電鏡是如何實(shí)現(xiàn)抽真空和成像如此之快呢？

PART1. 三倉分離真空設(shè)計(jì)

飛納電鏡從一開始就拋棄傳統(tǒng)的通倉設(shè)計(jì)，別出心裁把燈絲倉，光路倉和樣品倉“隔離"設(shè)計(jì)，燈絲倉和光路倉通過壓差光闌隔離，光路倉和樣品倉通過“真空鎖"設(shè)計(jì)隔離，渦輪分子泵分別對三倉室梯度抽真空，這樣切換樣品只破壞樣品倉真空，整個換樣過程幾乎不會引起燈絲倉的真空變化，從而保證燈絲倉真空環(huán)境一直穩(wěn)定在 10-5Pa，這也是保證晶體燈絲長壽命的前提條件。

PART2. 樣品倉設(shè)計(jì)

傳統(tǒng)電鏡樣品倉大開門或者抽屜式設(shè)計(jì)，不但會造成抽真空緩慢，而且樣品倉內(nèi)各種探測器都暴露在空氣中，樣品高度要調(diào)整，這些都需要警惕否則都會帶來巨大損失。而飛納電鏡真空鎖不單鎖住光路倉，還包括各種探測器，進(jìn)樣之前樣品高度做了限高防呆設(shè)計(jì)，不存在任何誤操作得風(fēng)險(xiǎn)，大家可以安心使用。

PART3. 自動進(jìn)樣設(shè)計(jì)

飛納電鏡繼承荷蘭飛利浦和 FEI 進(jìn)樣逐級抽真空設(shè)計(jì)，一鍵轉(zhuǎn)移到 SEM，邊進(jìn)樣邊抽真空。在樣品倉到達(dá)預(yù)定真空度前，光路倉可實(shí)現(xiàn)真空保持，而后自動加高壓，自動調(diào)焦和自動調(diào)節(jié)亮度對比度（B/C）成像，整個過程一氣呵誠，無需人工干預(yù)，從進(jìn)樣到清晰成像，1min 之內(nèi)就可以自動完成。